特种气路系统中应该注意的五大部分？

   电子特气，以下简称特气，是VLSI、液晶显示设备、半导体发光器件和半导体材料的制造工艺中必不可少的基本支撑材料。其纯度和清洁度直接影响着光电产品的质量、微电子元件的质量、集成度的具体技术指标和良率，从根本上限制了电路和器件的准确性。特气管路系统是为保证特气纯度和安全稳定输送的供气系统。

一、气路系统常用器材

气体钢瓶、钢瓶固定架、钢瓶柜、钢瓶接头、金属软管、半自动切换装置、一级减压器、二级减压器、焊接三通、焊接大小头、卡套阀门、316L不锈钢管道(BA、EP)、压力表、可燃有毒气体监测报警装置等等。

二、集中供气注意事项

集中供气避免气体混合的问题：将所有载气气瓶根据气体性质分别集中在一个气瓶间中，其中*主要是将会相互反应的气体分开存贮，如易燃易爆气体(如H2、天燃气、乙炔等)与助燃气体(如氧气、氯气)。

三、气体监测报警系统安装

气体监测报警系统指针对环境、易燃爆、毒腐等气体所定制的安全监控系统，通过气体侦测器采集到信号传递至中控室电脑，或者直接传递至控制箱产生声光报警，可以让管理人员时间发现险情，防患于未然。整套系统可根据现场实际结合用户需求深度定制，拓展为GMS和BMS系统。

四、气体管道吹扫作用及方法

在系统安装完毕投入使用前，应当用所输送的高纯净气体对输配管路系统进行彻底的吹除。这样不仅可以吹除由于安装过程中不慎落入系统的粉尘粒子，而且也起着对管路系统的干燥作用，去除管壁甚至管材所吸留的部分含湿气体。三种吹扫方式：抽空式、连续攻扫式、间断吹扫式，可针对系统的不同的情况，采用一种或两种方式同时应用。

五、特种气体工艺系统的硬件需求

1、储存、供气的气瓶柜（GC特气柜）、气瓶架（GR特气架）。

2、气体分配用阀门箱（VMB）、阀门盘（VMP）。

3、辅助氮气吹扫系统。

4、尾气处理设备（Local Scrubber）。