*中心洁净实验室设计

　　洁净室*主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为洁净室。

　　按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。

　　当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。

　　每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。0.5uM及以下的微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。

　　*中心实验室的空气具有洁净度的要求，洁净等级按病原性微生物实验和污染程度确定，其地理位置应选择远离人烟稠密、交通繁忙和空气、水源、噪声严重污染地区。

　　*中心实验室要按照功能用途划区布置，将实验室与各区严格分开，人流、物流路径分明，有污染排放的区域要设在实验室的下风向，吸风口设在上风向，实验室周围不宜种植飞扬花粉、绒毛和落叶的植物。

　　*中心洁净实验室设计思路：

　　(1)人流

　　初更室—气闸更衣室—淋浴更衣室—缓冲室—进入实验区。

　　离开时进入净身室(房间负压)，脱下身上所有的衣物，衣物放入双门药液浸泡柜(或其他方式消毒柜)内(双门药液浸泡柜的门设计成控制式的，不允许同时打开);然后进入淋浴室淋浴;淋浴后进入记录室，登记记录自己的工作和身体污染情况，然后拿着身体状况表进入体检室，作污染和常规检查或住室观察，无问题进入气闸更衣室换上自己的衣服下班。

　　(2)物流

　　物流：设计成单向性的，从专门的库房(或暂存间)进入缓冲间，再进入实验室。离开时必须通过双门热压灭菌锅进入另一个缓冲间(双门热压灭菌柜的门设计成控制式的，不允许同时打开)。任何物料只要进入是实验区，不能原路返回。

　　(3)三废处理

　　a.废液：废液处理的方法是根据废液的性质确定的处理方法的。一般采取的方法有：化学处理方法、物理处理方法、生物处理方法。

　　b.废气：废气处理可采用的方法有：加热灭菌方法、高效过滤器方法、混合灭菌方法、火焰灭菌方法等。

　　c.固体废料：固体废料的处理方法有：蒸汽灭菌方法、气体熏蒸方法、液体浸泡方法、辐射灭菌方法、焚烧处理方法等。